潔凈度測試流程

測前準備：

1竣工圖面（初版）與相關規范確認。

2)潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成。

3)測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，并已連續運轉24小時以上。（包含新風空調箱單機試運轉完成，FFU、風機盤管單機運轉測試完成，自動控制完成且可監控，排氣系統測試單機測試運轉完成。）

4)潔凈室環境需清潔完成。

5)測試進行時業主或監造單位應有代表在場，現場不得有其它單位同時施工以免影響測試之準確度。

測試目的：此檢測動作在于確認無塵室潔凈度等級是否達到設計要求。

法規依據：參考NEBB第二版無塵室測試程序標準,ISO 14644-1:1999(E)，無塵室空氣潔凈分類。

測試儀器：顆粒測試儀（品牌 MET ONE），型號：3413、3415、3445、HHPC3+。PMS型號：110

測試位置：測量點數不得少于每個潔凈室面積的根號，另針對業主要求局部增加測試點數，詳細測試點位置見圖紙。

測試步驟：a.確定濾網平均風速及濾網泄漏記錄均已完成測試，且天花板、地板、墻板等工程之收邊均已完成，才可開始環境微粒子測試。

b. 確認測試點及配置圖編號。

c. 測量點之周圍3m半徑內無障礙和污染源。

d. 距離地板上1.2m高度固定微粒子計數器之取樣頭測量。

e. 每一測量點均測量一分鐘，取平均值為測量值。

合格標準：ISO Class 2: 100 count/ m3 @ 0.1µm & greater

          ISO Class 5: 10,200 count/ m3 @ 0.3µm & greater

 ISO Class 6: 02,000 count/ m3 @ 0.3µm & greater 35,200 count/ m3 @ 0.5µm & greater

 ISO Class 7: 352,000 count/ m30.5µm & greater